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6英寸勻膠顯影機 ACD6
SPIN COATER&DEVELOPER
設備配置 3C、4C、6D
襯底材質(zhì) Si、Glass、Sapphire等
適用工藝 G-line、i-line
應用領(lǐng)域 功率器件、LED等
設備尺寸 1050*1900*2200mm(W*D*H)
技術(shù)特征：
襯底材質(zhì) Si、Glass、Sapphire等
適用工藝 G-line、i-line
應用領(lǐng)域 功率器件、LED等
設備尺寸 1050*1900*2200mm(W*D*H)
技術(shù)特征：
· 超高產(chǎn)能、更低的COO使用成本；
· 設備結構緊湊、占地面積小（面寬僅1.1m）；
· 功能齊全，具備EBR、BSR、RRC、膠嘴自動(dòng)保濕清洗等功能；
可做兩種尺寸完全兼容，不需要更換零件；