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晶圓搬運顯微鏡

admin
  • 詳細描述
型號 AWL046 AWL068
晶圓尺寸（SEMI規格） 150mm/125mm/100mm 200mm/150mm
晶圓最小厚度 150um 180um
片盒類(lèi)型 開(kāi)放式片盒（SEMI Stad.25「26」-slot
片盒數量 1Pot
檢查模式設置 全檢/奇數檢/偶數檢/手動(dòng)選擇
片盒內晶圓掃描 ● ●
晶圓預定位 ● ●
晶圓定位 非接觸式定位平面N型槽，支持0°、90°、180°、270°、朝前設置
檢查功能 微觀(guān)檢查 ● ●
  晶圓宏面檢查 ● ●
  晶圓宏面檢查1 ● ●
  晶圓宏面檢查2 ● ●
適配顯微鏡 SOPTOP MX68R金相顯微鏡
載物臺 ?6英寸四層機械移動(dòng)平臺，低位手X Y方向同軸調節；
?晶圓承片臺，可360°旋轉；
?移動(dòng)行程228mm（X方向）×170mm（Y方向）觀(guān)察范圍；170mm×170mm；
?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動(dòng)。		 ?8英寸四層機械移動(dòng)平臺，低位手X Y方向同軸調節；
?晶圓承片臺，可360°旋轉；
?移動(dòng)行程228mm（X方向）×280mm（Y方向）觀(guān)察范圍；210mm×210mm；
?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動(dòng)。
電源 1P/220V/16A
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